Tìm kiếm mục từ trong bộ từ điển bách khoa (4 tập)
Từ khóa
Chuyên ngành
Địa lý
Giải nghĩa
KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ

thiết bị để quan sát và chụp ảnh với độ phóng đại rất lớn (đến hàng triệu lần), dùng chùm tia điện tử (thay cho chùm ánh sáng trong kính hiển vi thông thường) được tăng tốc với điện thế hàng chục, hàng trăm hoặc hàng nghìn kilôvôn trong chân không cao. Có hai loại chính: KHVĐT truyền qua và KHVĐT quét. Trong KHVĐT truyền qua, các đối tượng nghiên cứu phải có dạng màng mỏng cho phép tia điện tử đi qua. Phụ thuộc vào điện thế tăng tốc, khả năng phân giải có thể đạt tới 1 - 3 A, tương ứng với độ phóng đại hàng trăm nghìn đến hàng triệu lần, có thể quan sát hình ảnh các nguyên tử riêng lẻ. Trong KHVĐT quét, sử dụng các mẫu dạng khối và ảnh phóng đại nhận được là kết quả của tương tác giữa mẫu và chùm tia điện tử sơ cấp dưới dạng tia điện tử phản xạ, tia điện tử thứ cấp, tia rơnghen, tia huỳnh quang catôt, vv. Điện thế tăng tốc của KHVĐT quét vào khoảng hàng chục kilôvôn, khả năng phân giải vào khoảng 50 - 200 A. KHVĐT còn được dùng rộng rãi trong các ngành sinh học, y học, nông học, vv.